JSM-IT500 扫描电子显微镜
JSM-IT500是JEOL InTouchScope系列的新机型。 从设定视野到生成报告，用于分析的软件整合于一体，加快了作业速度！是一款无缝操作，使用更加方便的扫描电子显微镜。
主要技术指标
图像倍率：
。3.0 nm (30 kV) 15.0 nm (1.0 kV)
。4.0 nm (30 kV BED)
。×5～×300,000
（以128 mm × 96 mm 作为显示尺寸规定放大倍率）
显示倍率：
。×14～×839,724
显示器上的图像倍率（以358 mm × 269 mm 作为显示尺寸规定放大倍率）
电子枪：钨灯丝 电子枪完全自动合轴
加速电压：0.3kV～30kV
低真空压力设定：
。范围※1 ：分辨率 高真空模式
。物镜光阑：低真空模式*1
。自动功能：灯丝调整、电子枪合轴调整，聚焦、像散、衬度/亮度调整
。最大样品尺寸：
（1）200 mm直径×75 mm高度
（2）200 mm直径×80 mm高度※选配件
（3）32 mm直径×90 mm高度 ※选配件
。样品台：大型全对中式
X：125 mm Y：100 mm Z：80 mm
倾斜：－10～90° 旋转：360°
。图像无缝拼接功能：标配
。显示测试位置座标：直径203 mm
。标准菜谱：有（包括EDS条件 ※2）
。图像模式：二次电子像、REF像、成份像*1、形貌像*1、阴影像*1等
。获取图像的像素数：640x480 1,280x960 2,560x1920 5,120x3,840
。OS：Microsoft®Windows®10 64bit
。显示器：23寸触摸屏
。EDS 功能*2：谱图分析、定性分析/定量分析、线分析（水平线分析、任意方向线分析）元素面分布、电子束追踪等
。测长功能：有（两点间距离、平行线间距离、角度、直径等）
。数据管理功能：SMILE VIEW™ Lab
。生成报告功能：SMILE VIEW™ Lab
。语言切换：可以在UI 上（日语/ 英语）
。抽真空系统：完全自动 TMP：1 台、RP：1台或2台※1
备注：Windows10 为美国微软公司在美国及其它国家的注册商标或商标
主要选配件
背散射电子检测器（BED) ※1
低真空二次电子检测器（LSED)能谱仪(EDS)※2
波谱仪（WDS）
电子背散射衍射检测器(EBSD)
加载互锁真空室（预抽室）
样品台导航系统（SNS）
样品室观察系统(CS)
操作面板
3D测量软件操作台
※1 为JSM-IT500LV/LA的标配功能。
※2 为JSM-IT500LV/LA的标配功能。
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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