步进式投影光刻机
分辨率:0.35μm， 套刻精度:< 75nm, 十字线对准:5:1 ， 150毫米* 150毫米
Resolution：0.35μm, overlay accuracy：<75nm Reticle：5:1 150mm*150mm
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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