Nikon G-line步进光刻机
规格型号：Nikon NSR-1755G7
技术指标及功能
适用于分辨率不低于0.65μm的大规模集成电路工艺器件量产的G-line步进式光刻机。
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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