资料简介: | |
日本RION测光阻专用液体粒子计数器: KS-41A, KS-41B 液体光学颗粒度仪 KS-41A 可检测光阻产品、SOG 等产品中 0.15um 的颗粒。 . 可侦测到最小粒径 0.15um 的粒子 . 可自行设定的粒径范围 0.15~0.5um,通过 KE-40B1 的控制器 可扩充至 10 个通道 出厂设定为 4 通道:0.15 / 0.2/ 0.3 / 0.5um . 综合泄漏传感器与报警输出 . 客户可在此测量范围内自行选择粒径通道(通过 KE-40B1) 液体光学颗粒度仪 KS-41B 可检测光阻产品、SOG 等产品中 0.1um 的颗粒。 .可侦测到光阻产品中最小粒径 0.1um 的颗粒(最小可定制到0.7um)流量为 5mL/min。(用于测试透明液体如纯水) . 可自行设定的粒径范围 0.1~0.5um,通过 KE-40B1 的控制器可 扩充至 10 个通道 出厂设定为 5 通道:0.1/0.15 / 0.2/ 0.3 / 0.5um .可以连接多个监控系统 使用液体粒子计数器的主要领域: |
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