德国IPLAS MPCVD CYRANNUS® 专利技术第四代半导体，热沉器件，光学窗口

2024-03-161399

资料简介：

德国IPLAS MPCVD CYRANNUS® 专利技术
第四代半导体，热沉器件，光学窗口
Augsburg Diamond Technology GmbH利用化学气相沉积技术在外源衬底(异质外延)上合成单晶金刚石。同外延的普遍概念是需要适当尺寸的单晶金刚石作为种子，与此相反，我们的新方法采用多层体系Ir/YSZ/Si作为可扩展的衬底。这一创新有助于S次在直径达100毫米的圆盘上合成单晶金刚石。