中科艾科米(北京)科技有限公司
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电子束蒸发源

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容量: 10L下
主要特点
 超高真空兼容
 蒸发温度zui高可达3000℃
 精确的线性推进:0.01mm精度,25mm行程,ZL设计
 内置挡板,不受空间限制完全打开
 可靠的束流监控,有效避免外界电磁场影响
 填料方便快速

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