三温区裂解源

●组合式坩埚设计，拥有长尺寸坩埚出口使团簇充分获得能量裂解

●底部快拆设计方便装填材料

●分段式水冷及隔温设计

●可在裂解区达工作温度后坩埚内仍保持初始温度

●裂解头核心最高温度可达1100℃

●模块化组合方式后期维护便捷

●三温区独立控温，控温精度可达±0.1℃

●DNF40CF安装法兰，与所有MBE系统兼容

●相邻发热温区温度抗串扰性优异