中科艾科米（北京）科技有限公司
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裂解蒸发源

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主要特点
 超高真空兼容
 优异的温度和束流稳定性
 独立式的水冷结构，源与水冷可单独拆卸
 适用于腐蚀材料的蒸发
 低温区和裂解区之间具有良好的隔热性
 坩埚容积zuida可达1000cc

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