电子束蒸发源控制器

主要特点
 基于嵌入式ARM+Linux操作平台
• 高度集成化设计
• 7''LCD触摸显示
• 实时束流显示
• 可独立高压电源
• 远程控制及诊断
• U盘一键固件升级
• 多种接口类型：USB，Ethernet
• GX风冷，智能风扇控制
 多种工作模式
• 手动/恒高压/恒发射电流/恒功率/恒束流
各模式一键切换
 ZL束流转换器
• 直接安装在蒸发源上，可zui小化噪音及误差
• 内置放大器及数字变换器
• 超大束流检测范围：100pA~1mA, 自动量程变换
• 超低噪音：<1pA/√Hz