桌上型激光直写光刻系统Dilase 250

主要优势

• 小巧桌上型系统
  

• 掩膜板制作及激光直写

• 375nm 或405nm 激光源

• 兼容所有光刻胶

• 高深宽比: 1 x 20

主要特点

系统尺寸: 550 x 670 x 700mm

电脑操控介面

可选激光源: 375 或405nm

带使光束成形及均化的光学组件

一种光束尺寸可选

高分辨率视频定位系统

支持文件格式: LWI (Kloé 设计格式),DXF 和GDS2

自动聚焦设定

自带设计软体: Kloé Design V.2

两种工作模式: 向量及扫描模式

技术指标

线性直写速率：> 100 mm/s 

样品平台移动分辨率：100 nm 

样品平台移动重复性：100 nm 

直写范围：1 –4 寸晶圆 

基底厚度：150 μm – 5 mm 

激光光斑尺寸：1 μm – 50 μm

物理尺寸(Form factor) ：最少 10 

标准多层对准精度：1 μm