Pluto-M多功能等离子表面处理系统
经过多年技术创新和积累，PLUTO-M创新性将真空式等离子体技术应用于各种不同领域的研究型操作平台，除了实现常规清洁样品和表面改性的功能外，通过添加不同的功能模块，可以实现等离子体镀膜，等离子体合成反应，等离子体纯化等功能，极大的拓展该设备的应用领域。
典 型 应 用
污染物清洗
清洗玻璃、金属、陶瓷、塑料等材料表面的有机物及其他污染物
表面活化
利用等离子体轰击样品表面，改变样品表面张力和活性
镀膜
采用等离子断键功能的专用装置，将镀膜材料以纳米级厚度均匀覆盖样品表面
等离子体刻蚀
对半导体材料、集成电路板、PCB板、塑料制品等材料进行刻蚀
等离子体反应
特别的工艺手段和装置，可以实现等离子体与样品的化学反应，并得到相应物质
粉体处理
粉体专用装置，可实现纳米级颗粒的等离子体均匀处理，实现各项性能
PLUTO-M参数(标准配置) | |
真空腔尺寸 | 不锈钢腔体，φ210mm*230mm |
电极尺寸 | 多控自适应平板电极，125*125mm |
等离子体发生器 | RF射频发生器，频率：13.56MHz；自适应阻抗匹配电源 |
功率 | 0-200W连续可调，精度1W |
真空计 | 热电偶真空计 0-1000mT |
供气 | 1路气体，6mm国标连接件（软管） |
控制方式 | 4.3寸触摸屏，多级应用菜单，操控简易快捷 |
抽气装置 | 飞跃 VRD-8，二级油泵8m3/h |
外部尺寸 | 404*640*615mm |
可 选 配 置 | |
纯铝腔体 | 间距可调电极 |
等离子体发生器 | RF 13.56MHz 300W/500W,自动阻抗匹配电源 |
气体收集装置 | 用于收集等离子体化学反应后的气体 |
小型氧气发生器 | 用于制备氧气，可取代氧气罐 |
气体混合装置 | 可根据客户要求进行混气设计 |
加热电极模块 | 电极可以加热，室温-200℃可调 |
光谱仪模块 | 可增加光谱仪的接口，检测等离子体光谱变化 |
电极转换模块 | 可自由变换电极设计，样品可放在射频电极上，也可以放在地电极上，从而实现不同的处理效果 |
上海沛沅仪器设备有限公司
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