用于故障分析和大型样品研究的领先纳米计量工具
作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器，其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20，这款全球精密的大型样品原子力显微镜，凭借着出色的数据准确性，在半导体和超平样品行业中大受赞扬。
强大全面的分析功能
Park NX20具备特殊的功能，可快速帮助客户找到产品失效的原因，并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。无与伦比的精密度为您带来高分辨率数据，让您能够更加专注于工作。与此同时，真正非接触扫描模式让探针JD更锋利、更耐用，无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。
即便是第一次接触原子显微镜的工程师也易于操作
ParkNX20拥有业界最为便捷的设计和自动界面，让你在使用时无需花费大量的时间和精力，也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点，您可以更加专注于解决更为重大的问题，并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。
为FA和研究实验室提供精确的形貌测量解决方案
样品侧壁三维结构测量 NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面，并测量它们的角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必备的。 |  |
对样品和基片进行表面光洁度测量 表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一，能够带来精确的失效分析和质量保证。 |  |
高分辨率电子扫描模式 QuickStep SCM 最快的扫描式电容显微镜 PinPoint AFM 无摩擦导电原子力显微镜 |  |
| 多种独有的ZG技术帮助顾客减少测试时间 | |
CrN样品所做的针尖磨损实验
通过对比重复扫描情况下探针JD的形状变化，您可以轻易看到Park的真正非接触模式的优势所在。 | ZJAFM测量
借助真正非接触模式，探针JD在扫描氮化铬样品（即探针检测样品）200次后仍可保持锋利的状态。氮化铬的表面粗糙且研磨性强，会让普通的探针很快变钝。 |
低噪声Z探测器测量准确的样品表面形貌 没有压电蠕变误差的真正样品表面形貌 超低噪声Z探测器，噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常JZ样品形貌成像，没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。 | |
使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量。 在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02nm。
| 没有前沿或后沿过冲现象。 终身无需校准，减少设备维护成本。
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上海西努光学科技有限公司
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