武汉迈可诺科技有限公司
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Laurell自动滴胶匀胶机

1、 系统概述

1.1 智能嵌锁,系统盖板具有智能嵌锁装置,确保操作安全;

1.2 防腐装置;

★1.3设有保护气体装置:旋涂过程中对旋转马达进行气流保护;

1.4 通信接口,蓝牙连接

2、处理腔体

2.1 处理腔体内径不小于9.5英寸 (241毫米);

2.2 Wafer芯片尺寸至少满足10-150mm直径的材料,方片125x125mm,无需更换片托;

2.3 腔体具有易清洁的NPP天然聚丙烯材质;

3、 旋转马达

3.1 转动速度至少满足0-12,000rpm,

3.2 旋涂加速度不小于12,000rpm/sec;

3.3 马达旋涂转速稳定性能误差不超过±1%;

4、控制系统

★4.1工艺时间设定范围至少满足1-5999.9sec/step ,精度不超过0.1s;

★4.2 配有高精度PLC可编程的控制器,设置点精度小于0.006%;

4.3 可存储不少于20个程序段,每个程序段可设置不少于51个不同步骤的速度状态;

★4.4 分辨率要小于0.5RPM,重复性误差要小于±0.5RPM,具有国际NIST标准认证,并且无需再校准;

5、配套泵浦

5.1 配套真空泵系统:无油型 220~240伏交流,50/60赫兹;

5.2 真空吸附范围25-28 英寸汞柱 (~635-711毫米汞柱)可调节,抽速不小于4.5 SCFM (0.11 立方米/分钟) ;

6、系统附件

6.1 原装进口水平测试仪; 

6.2 两袋密封圈; 

6.3 配有两套可更换的废液接收单元;

6.4 UD自动滴胶装置:UD-3带倒吸装置的多喷嘴可编程针筒;

6.5 EBR(Edge Bead Remover):晶圆去边,机械装置;


关于匀胶膜厚控制问题

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