Laurell匀胶机H6M23N

匀胶机(英文名：Spin Coater)适合半导体硅片的匀胶镀膜 

详细介绍：匀胶机(英文名：Spin Coater& Spin Processor) 

行业俗称：匀胶台、匀胶机、旋涂仪、涂胶机、镀膜机、涂层机

一、产品概述：

    **款 H6M23N匀胶机适应于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺，制版的表面涂覆。美国Laurell匀胶机具有稳定的转速和快速的启动，可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性，这正是H6匀胶机的特点。

二、匀胶机工作原理：

匀胶机 H6M23N（spin coater）的工作原理是高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上，甩胶机常用于各种溶胶凝胶（Sol-Gel）实验中的薄膜制作，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

三、匀胶机 H6M23N 主要性能指标：

1、Windows 10平板电脑，SPIN 3000 PC触摸界面软件轻松编程；

2、Wafer芯片尺寸：10-150mm直径的材料，方片125x125mm，（小于10mm可选配托盘）；

3、转动速度：0-12,000rpm， 

4、旋涂加速度：0-13,000rpm/sec；

5、马达旋涂转速：稳定性能误差 < ±1%；

6、转速调节精度：<0.2rpm，重复性< 0.2rpm；

7、工艺时间设定：1-5999.9 sec/step 0.1 精度；

8、匀胶机材质：NPP天然聚丙烯材质，抗腐蚀性和抗化学物性，美观大方；

9、 程序控制：可存储20个程序段，每个程序段可以设置51步不同的速度状态；

10、分辨率：分辨率小于0.5转/分，可重复性小于±0.5转/分，美国国家标准技术研究院（NIST）认证过的，并且无需再校准！]

11、配套真空泵系统：无油型 220~240伏交流，50/60赫兹；

12、原装进口水平测试仪；