软性材质旋涂的解决方案

在一些特殊工业用途上会使用到，在诸如布匹，塑料纸等软性材料的匀胶旋涂。

关于软性材料的旋涂问题，使用嵌入式托盘：

对于真空吸附托盘（Vacuum Chuck）来说，这是嵌入式托盘如何吸住片子的图例。真空托盘和多孔吸附的插入看起来很相同。不同的地方是真空如何吸住表面；由于像布这样的软性材料是有许多透气孔的，所以吸附力非常弱，其次是当滴注胶液在布的表面时，胶液渗透过布进入到真空吸附管道的可能性很大，那样就无法得到好的效果。

我们可以将软性材料固定在硬性材料（如载玻片）的表面，再将硬性材料通过真空吸附或者非真空嵌入固定的方式固定在旋转托盘上。

考虑到软性材料和所依附的硬性材料之间在旋转时产生张力导致材料表面会有变形，所以转速必须有所限制，避免采取告诉旋转。