杭州雷迈科技有限公司
杭州雷迈科技有限公司

NanoSystem NVM-6000P非接触式3D表面自动测量系统

白光干涉仪(WSI)能测量柔软、正常粗糙表面的表面高度,
与NA无关,提供0.5纳米垂直分辨率。不损伤垂直分辨率,可使用所有倍率。

相位差干涉仪(PSI)提供0.1纳米的垂直分辨率。
因此,使用非常低的倍率(2.5X)能提高高度分辨率并获得较大的FOV。

 

产品描述

NanoSystem NVM-6000P是专用型设备,用于基板表面形貌的测量。

基板上的Via Hole,Pad形状,pattem形貌和表面形貌等11个项目可以进行自动测量。

在高速测量下仍具有优秀的重复性和准确性,支持用户设定测量条件和测量数据自动保存及分析功能。

 

产品规格

扫描范围:0-180um(270um可选)

垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm 

台阶高度重复性:﹤0.5%(1σ)

横向分辨率:0.2-4um(取决于物镜和FOV)

工作台面:510X405mm(程控)

尺寸:1200(w)X1250(D)X1900(H)

 

应用领域

Nano View系列为LCD(液晶显示器)、IC Package(芯片封装)、Substrate(基板)、Build-up PCB(积层板)、MEMS(微机电系统),Engineering Surfaces(工程表面)等等领域提供纳米级别精度的量测。包括:PostSpacer,RGB,Charater,Back Pannel,Spray PR,Roughness,VIA hole,Cu Thickness,Cu Pad,Line Profile,Fiber,Array,Semiconductor,MENS,Abraslon,BGA.

 

ISO 25178 · 4287 国际规格标准化数据

按照ISO国际标准机构规定的规格,以图表、表格、2D•3D图像的形式大面积显示粗糙度、高度及幅度等各类数据。

 

图形的粗糙度评价Roughness evaluation of images

Nano System利用从ISO、ASME、EUR等多家国际标准机构获得的30多个粗糙度参数来评估Sample的粗糙度。

 

 


白光干涉仪(WSI)能测量柔软、正常粗糙表面的表面高度,
与NA无关,提供0.5纳米垂直分辨率。不损伤垂直分辨率,可使用所有倍率。
相位差干涉仪(PSI)提供0.1纳米的垂直分辨率。
因此,使用非常低的倍率(2.5X)能提高高度分辨率并获得较大的FOV。


产品描述
NanoSystem NVM-6000P是专用型设备,用于基板表面形貌的测量。
基板上的Via Hole,Pad形状,pattem形貌和表面形貌等11个项目可以进行自动测量。
在高速测量下仍具有优秀的重复性和准确性,支持用户设定测量条件和测量数据自动保存及分析功能。

产品规格
扫描范围:0-180um(270um可选)
垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm
台阶高度重复性:﹤0.5%(1σ)
横向分辨率:0.2-4um(取决于物镜和FOV)
工作台面:510X405mm(程控)
尺寸:1200(w)X1250(D)X1900(H)

应用领域
Nano View系列为LCD(液晶显示器)、IC Package(芯片封装)、Substrate(基板)、Build-up PCB(积层板)、MEMS(微机电系统),Engineering Surfaces(工程表面)等等领域提供纳米级别精度的量测。包括:PostSpacer,RGB,Charater,Back Pannel,Spray PR,Roughness,VIA hole,Cu Thickness,Cu Pad,Line Profile,Fiber,Array,Semiconductor,MENS,Abraslon,BGA.

ISO 25178 • 4287 国际规格标准化数据
按照ISO国际标准机构规定的规格,以图表、表格、2D•3D图像的形式大面积显示粗糙度、高度及幅度等各类数据。

图形的粗糙度评价Roughness evaluation of images
Nano System利用从ISO、ASME、EUR等多家国际标准机构获得的30多个粗糙度参数来评估Sample的粗糙度。
热线电话 在线咨询

网站导航