非接触式3D轮廓仪

Nano View-2400非接触式3D轮廓仪

Nano View-2400非接触式3D轮廓仪为LCD、IC Package、Substrate、Build-up PCB、MEMS，Engineering Surfaces等领域提供纳米级别精度的量测.

通过非接触式的方法对0.1nm-270nm的3维表面形貌进行高进度和高速测量。利用物镜转台可方便的进行放大倍数的转换。使用拼接功能可分析宽广的表面。

产品规格：

干涉物镜：5个物镜可选

扫描范围：0-180um（270um，5mm可选）

垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm ，PSI ：﹤0.1nm

倾斜台：±6°

Z轴行程：100mm（手动）

工作台面：100X100mm（程控)