扫描电子显微镜SEM3000

一、扫描电子显微镜SEM3000产品概述：

扫描电子显微镜SEM3000是一款使用钨灯丝的高性能扫描电子显微镜。观察亚微米级的微观结构，放大倍数可达到100000倍。此型产品具有快速更换灯丝的优点。其分辨率轻松优于10 nm。在自动五轴样品台的配合下，非常适用于生产品质控制及样品筛选,适合传统光学显微镜无法满足需求的用户。

二、扫描电子显微镜SEM3000产品应用：

三、扫描电子显微镜SEM3000产品参数：

扫描模式
行扫：2 ms-80 ms  帧扫：0.4 s-160 s

快扫模式：512x512像素（可选256x256像素）

观察模式：1024x1024像素（三档速度）

拍照模式：4096x4096像素（三档速度, 可选1024x1024像素）

真空系统

主泵：涡轮分子泵

前级泵：旋片式机械泵

系统极限真空度：5 x 10^-4Pa（涡轮分子泵）

探测器

二次电子、背散射电子（选配）、X能谱仪（选配）

样品台

X、Y、Z、R、T 五轴电动样品台

X：50 mm；

Y：50 mm；

Z：40 mm；

R：360°；

T：-15° 到+60°

安装要求

电源：AC220 V；50 Hz;2KVA

地线：独立地线一条，小于10Ω

温度：15 ℃-30 ℃

湿度：≤70%

地面震动：≤5 μm/sec

交流磁场：≤0.3 μT

门宽：≥900 mm

外形尺寸和重量

主机  ：700（W）x750 

D）x1450（H）；160 kg