北京亚科晨旭科技有限公司
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Bruker布鲁克 DektakXT 探针式表面轮廓仪



布鲁克 DektakXT 台阶仪

    布鲁克 DektakXT 台阶仪(探针式表面轮廓仪)是一项创新性的设计,可以提供更高的重复性和分辨率,测量重复性可以达到5Å。台阶仪这项性能的提高达到了过去四十年Dektak技术创新的顶峰,更加巩固了其行业领xian地位。不论应用于研发还是产品测量,通过在研究工作中的广泛使用,DektakXT一定能够做到功能更强大,操作更简易,检测过程和数据采集更完善。第十代DektakXT台阶仪(探针式表面轮廓仪)的技术突破,使纳米尺度的表面轮廓测量成为可能,从而可以广泛的应用于微电子器件,半导体,电池,高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。

DektakXwan美设计
 
探针系统的评价体系受三个因素影响:能否重复测量,数据采集和分析速度快慢,操作的难易程度。这些因素直接影响了数据的质量和操作效率。DektakXT利用全新结构和和**软件来实现可重复、时间短、易操作这三个必要因素,达到**的仪器使用效果。
 
强化操作的可重复性 DeliverinRepeatable Measurements
 
DektakXT在设计上的几个提高,使其在测量台阶高度重复性方面具有的表现,台阶高度重复性可以到达5Å.使用single-arch结构比原先的悬臂梁设计更坚硬持久不易弯曲损坏,而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。同时,Bruker还对仪器的智能化电子器件进行完善,提高其稳定性,降低温度变化对它的影响,并采用先进的数据处理器。在控制器电路中使用这些灵敏的电子元器件,会把可能引起误差的噪音降到zuidi,DektakXT的系统因此可以更稳定可靠的实现对高度小于10nm的台阶的扫描。Single-arch结构和智能器件的联用,大大降低了扫描台的噪音,增强了稳定性,使其成为一个极具竞争力的台阶仪(表面轮廓仪)。
 
提高数据采集和分析速度 SpeedingUp Collectionand Analysis
 

利用独特的直接扫描平台,DektakXT通过减少从得到原始数据到扣除背底噪音所需要的时间,来提高扫描效率。这一改进,大大提高了大范围扫描3D形貌或者对于表面应力长程扫描的扫描速度。在保证质量和重复性的前提下,可以将数据采集处理的速度提高40%。另外,DektakXT采用Bruker 64-Bit数据采集分析同步操作系统Vision64,它可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度,并且可以加快滤波器的工作速度和多模式扫描时的数据分析处理效率。Vision64还具有最有效直观的用户界面,简化了实验操作设置,可以自动完成多扫描模式,使很多枯燥繁复的实验操作变得更快速简洁。 

完善的操作和分析系统 PerfectingOperationand Analysis

与DektakXT的创新性设计相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析软件。Vision64提供了操作上最实用简洁的用户界面,具备智能结构,可视化的使用流程,以及各种参数的自助设定以满足用户的各种使用要求,快速简便的实现各种类型数据的采集和分析。

DektakXT 技术参数

—台阶高度重复性5Å
—Single-arch设计大大提高了扫描稳定性
—前置敏化器件,降低了噪音对测量的干扰
—新的硬件配置使数据采集能力提高了40%
—64-bit,这一Vision64同步数据处理软件,使数据分析速度提高了十倍。
功能,操作简易
—直观的Vision64用户界面操作流程简便易行
—针尖自动校准系统让用户更换针尖不再是难事
台阶仪(表面轮廓仪)领域无可撼动的领xian地位
—布鲁克的台阶仪,体积轻巧,功能强大。

—单传感器设计提供了单一平面上低作用力和宽扫描范围

参数:

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测试技术

探针式表面轮廓测量技术(接触模式)

测量范围

二维表面轮廓测量

可选择三维测量以及数据分析

样品观测

可选择放大倍数,视场(FOV)范围:1~4mm

探针传感器

低惯性量传感器 (LIS 3)

探针作用力

LIS 3 传感器中 1~15mg

低作用力模式

N-Lite+  低作用力  0.03~15mg

探针选项

探针曲率半径  50nm~25um

高径比针尖(HAR)10um×2um 和200um×20um ;也可以采用客户定制针尖

样品 X/Y 载物台

手动 X/Y(4英寸):100mm*100mm,可手动校平

自动 X/Y(6英寸):150mm*150mm,可手动校平

样品 R/Ɵ 载物台

手动,360度连续旋转

自动,360度连续旋转

计算机系统

64位多核并行处理器,Windows® 7 系统;可选配23英寸平板显示器

软件

Version 64 操作分析软件,应力测量软件,悬臂偏转测试软件;

选配:缝合软件;3D应力分析软件;3D测量软件

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咨询:182 6326 2536(微信同号)

布鲁克探针式表面轮廓仪(又称“台阶仪”)历今四十载,积累大量技术。从传统的二维表面粗糙度和台阶高度测量,到更高级的三维表面成像和薄膜应力测试,Dektak台阶仪适用面广,为用户提供准确性高,重复性佳的测量结果。

在教育、科研领域和半导体制程控制,Dektak广泛用于膜厚、应力、表面粗糙度和面形的测量。近几年,Dektak系统已经成为发展的太阳能电池市场zui的测试工具。
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