Bruker布鲁克Dektak XTL 测针轮廓仪系统

Dektak XTL

严格的质量保证与控制下获得300mm检测

布鲁克公司的新型Dektak XTL探针式轮廓仪系统可容纳多大350mm*350mm的样品，将Dektak有意的可重复性和再现性应用于大尺寸晶片及面板制造业。Dektak XTL集成气体隔振装置和方便的交互锁装置使仪器在全封闭工作环境下运行，是当今要求苛刻的生产环境的理想之选。它的双摄像头设置使空间感增强，其高水平自动化可最大限度提高生产量。

Bruker布鲁克Dektak XTL 测针轮廓仪系统

大尺寸晶片和面板测量

全新的Dektak XTL™探针式轮廓仪优异的精确度、可重复性和再现性广泛应用于大尺寸晶片及面板制造业。该系统可容纳多达350mm x 350mm的样品，使得传奇性的Dektak系统可以实现从200mm到300mm的晶片制造。

DektakXTL运算符v1

Dektak XTL具有占地面积小和带联锁门的集成隔离功能，非常适合当今苛刻的生产车间环境。其双摄像头架构可增强空间意识，其高度自动化可提高制造吞吐量。布鲁克的Vision64高级生产界面带有可选的模式识别功能，使数据收集变得直观，可重复，并程度地减少了操作员之间的差异。

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