| 设备简介： 该产品是由固态等离子源、气体质子流量控制系统、衬底控温系统、真空系统组成，采用集中总线控制技术的诺巴迪操作软件。适用于室温至1200℃条件下进行SiO2、SiNx薄膜的沉积，同时可实现TEOS源沉积，SiC膜层沉积以及液态气态源沉积其它材料。 | |||
配置详情
| 1. 清洗镀膜一气呵成，杜绝二次污染； 2. 上开启式结构，方便观察试样； 3. 产品采用全自动控制方式，触摸屏，数字化显示； 4. 设备一体化程度高； 5. 稳定的射频电源，均匀的温度分布，提高成膜质量； | |||||||||
产品型号 | NBD-PECVD1200-80ITD2ZY | |||||||||
电气规格 | AC220V 4KW | |||||||||
Max温度 | 1200 ℃ | |||||||||
连续温度 | 1150℃ | |||||||||
加热速率 | ≤ 20 ℃/min | |||||||||
射频电源 | 300或500W（可根据需求自选） 13.56MHz | |||||||||
炉管尺寸 | Φ80*1200mm | |||||||||
| 沉积示意图 |
| 如图所示：此为该设备沉积过程中的示意图 | ||||||||
控制系统 |
| 1.NBD-101EP嵌入式操作系统中英文互换图形界面，7寸真彩触屏输入，智能式人机对话模式，实时加热功率显示，非线性式样温度修正；实验报告自主生成，实验数据无限次导出。 2.实验过程更加直观，操作更加便捷； 3.具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。 | ||||||||
温度精度 | +/- 1 ℃ | |||||||||
加热元件 |
| Mo掺杂的Fe-Cr-Al合金 | ||||||||
密封系统 |
|
|
| |||||||
真空度：≤10Pa（机械泵-油泵、干泵可选） | ||||||||||
压力测量与监控 |
| 采用数显真空计，可使设备真空度更加直观，实验结果更加准确。 | ||||||||
供气系统 |
| 采用两路质量流量计精确控制气体流速，与设备集成为一体；（可扩展至多路） | ||||||||
净重 | 360KG | |||||||||
设备使用注意事项 | 1. 设备炉膛温度≥300℃时，禁止打开炉膛，避免受到伤害； 2. 设备使用时，炉管内压力表显示压力不得超过0.15MPa，以防止压力过大造成设备损坏； 3. 真空下使用时，设备使用温度不得超过800℃； 4. 供气钢瓶内部气压较高，向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在选购试验用小压力减压阀，减压阀量程为0.01MPa-0.15MPa,使用时会更加精确安全； 5.当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压 相当，保持在常压状态； 6.高纯石英管的长时间使用温度≦1100℃； 7.加热的实验时，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若JD压力表读数大于0.15MPa，必须立刻打开排气端阀门，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）。 | |||||||||
服务支持 | 1年质保，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如炉管和密封圈等）； 24小时服务热线：。 | |||||||||
免责声明：本站产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等），仅供参考。可能由于更新不及时，或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异，请与本公司客服人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，诺巴迪公司不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知。
河南诺巴迪材料科技有限公司
仪器网(yiqi.com)--仪器行业网络宣传传媒
长按识别二维码查看信息详情