Park NX15原子力显微镜

Park NX15不仅非常适合共享实验室里的研究人员处理各种样品、进行多变量实验，也同样适合故障分析工程师处理晶圆的系统性工作。

便捷的样品测量（包含多样品扫描）

• 一次可对多个样品自动成像

• 设计的多样本卡盘，一次至多可装载9个单独样品（可选）

• 全电动XY样品台行程可达 150 mm x 150 mm

通过消除扫描器串扰进行精准的XY扫描

• 独立闭环XY和Z柔性扫描器

• 正交XY扫描

• 无需软件处理即可保留真实可信的样品表面形貌信息

真正非接触模式实现探针使用寿命、成像分辨率和样品的有效保护

• 快速的Z伺服速度，实现真正的非接触模式

• 针尖磨损微小化，可实现长时间的高质量和高分辨率成像

多种模式和选项

• 全面性的测量模式和表征方法

• 可实现可选配件和升级扩展功能

• 用于故障分析(FA)的精密电学测量

Park NX15 参数

扫描器

Z扫描器

柔性引导高推动力扫描器

Z扫描范围：15μm(30 μm可选)

XY扫描器

闭环控制式单模块柔性XY扫描器

扫描范围：100μmx 100μm

光学

带视觉相机的同轴光学系统

物镜：10x放大

视场：

480 μm X 360 μm(默认 120 万像素视觉相机)

840 μm X 630 μm( 默认 500 万像素视觉相机)

电路系统

信号处理

ADC: 用于 X,Y和Z 扫描器位置传感器的 24 位 ADC

DAC: 用于 X,Y和Z 扫描器定位的 20 位 DAC

样品台

Z位移台行程范围：25.5 mm

XY位移台行程范围：150 mm X 150mm

样品大小：可满足150 mm wafer 样品