安捷伦科技(中国)有限公司
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安捷伦 FRG-700/FRG-702 全量程皮拉尼反磁控真空计

产品介绍:

Agilent FRG-700 真空计为全量程真空计,在一体化、紧凑且经济的规管内集成两种测量技术,以测量从 3.8 x 10-9 Torr 至大气压(5 x 10-9 至 1013 mbar)的工作压力和极限真空。带有一个对数模拟量输出信号的一体化紧凑规管可大幅降低安装、设置和集成的复杂性。这种组合真空计的优点在于降低成本并显著降低对宝贵空间的要求。

FRG-702 为 FRG-700 的全金属型号,内含金属密封的真空密封通导件。该真空计可以在比 FRG-700(法兰处最 高 55 °C)更高的温度(法兰处最 高 150 °C)下工作。


特性
  • 在一体化、紧凑且经济的规管内集成两种测量技术

  • 测量从 3.8 x 10-9 Torr 至大气压(5 x 10-9 mbar 至大气压)的过程和极限真空

  • 带有一个对数模拟量输出信号的一体化紧凑规管可大幅降低安装、设置和集成的复杂性

  • 适合监控高真空压力、蒸镀和溅镀系统的极限压力,以及中高真空范围内的普通真空测量和控制

  • 灯丝不易损坏

  • 优异的启动性能

  • 便于清洁和修复

  • 使用成本低

  • 高电压 LED 指示灯可快速提供可视化的状态指示


性能指标
准确度
  • ±30%

响应时间
  • <10 ms(当压力大于 10–6 mbar 时),≈ 1000 ms(当压力等于 10–8 mbar 时)

操作环境温度
  • +5 to +55 °C

最 高烘烤温度
  • 150 °C

模拟输出
  • 0-10.5 VDC

测量范围
  • 5 x 10–9 至 1000 mbar

  • 3.8 x 10–9 至 760 Torr

贮存环境温度
  • –40 至 +65 °C



Agilent FRG-700 真空计为全量程真空计,在一体化、紧凑且经济的规管内集成两种测量技术,以测量从 3.8 x 10-9 Torr 至大气压(5 x 10-9 至 1013 mbar)的工作压力和极限真空。带有一个对数模拟量输出信号的一体化紧凑规管可大幅降低安装、设置和集成的复杂性。这种组合真空计的优点在于降低成本并显著降低对宝贵空间的要求。
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