安捷伦科技（中国）有限公司
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安捷伦 钛升华复合离子泵 (TSP) VacIon Plus 500 复合泵

产品介绍：

CombiTSP 500 集成了 VacIon 500 L/s 离子泵、TSP 泵芯和 TSP 低温挡板，可在体积不变的情况下提高抽速。TSP 泵芯的吸气特性可快速达到超高和极高真空状态 (UHV/XHV)，从而降低最 终 极限真空。低温挡板可进一步提高可吸收气体的抽除效率。三极离子泵元件对甲烷、氩气和氦气具有最 高的抽速和容量。

这款泵非常适合粒子物理学和其他低压研究（如表面科学、纳米技术、材料科学），可根据您的需求定制不同的高压真空通导件、泵体几何形状和泵元件。


特性

  • 该离子-TSP 复合泵为 VacIon Plus 500，带有一个附加侧孔或底部安装的 8 英寸 ConFlat 孔

  • 可选择三极离子泵、二极离子泵或惰性气体二极离子泵抽气单元，可达到最 高惰性气体 (UHV/XHV) 抽速

  • 配备 ConFlat 8 英寸非旋转型入口法兰以及采用双法兰或带侧孔配置的额外 8 英寸 ConFlat 孔

  • 低温挡板安装在外径 8 英寸的 ConFlat 法兰上，还包括一个用于安装 TSP 泵的 2.75 英寸 ConFlat 法兰

  • 包括 TSP 泵芯，但未安装在泵内

  • 低温挡板可为 TSP 的升华钛提供更大的表面积，避免真空系统发生不需要的钛膜沉积

  • 使用液氮冷却时，低温挡板提高了吸气过程的效率和抽除水的速度。也可在水冷下运行，或在超高真空/极高真空下无需冷却地运行。

  • 配备已安装的 120 Vac 或 230 Vac 加热器，还有多种真空穿导件可供选择（Fischer、King、DESY、Varian、SHV 10kV (Safeconn)）

  • 电缆和控制器单独提供


性能指标
加热器电压

  • 100-120/200-240 V

加热器电源

  • 780 W

单元类型

  • StarCell

  • Noble Diode

  • Diode

工作寿命

  • 80000 小时

抽气口法兰

  • 8 英寸 CFF (NW 150)

最 大启动压力

  • ≤ 5 x 10-2 mbar

最 高烘烤温度

  • 350 °C

极限真空

  • < 1 x 10-11 mbar

真空高压接头类型

  • Fischer

  • SHV


CombiTSP 500 集成了 VacIon 500 L/s 离子泵、TSP 泵芯和 TSP 低温挡板，可在体积不变的情况下提高抽速。TSP 泵芯的吸气特性可快速达到超高和极高真空状态 (UHV/XHV)，从而降低Z终极限真空。低温挡板可进一步提高可吸收气体的抽除效率。三极离子泵元件对甲烷、氩气和氦气具有Z高的抽速和容量。
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