安捷伦科技(中国)有限公司
安捷伦科技(中国)有限公司

安捷伦 大型离子泵 VacIon Plus 500 离子泵

产品介绍:

VacIon Plus 500 L/s 离子泵可为大型应用提供出色的抽速。该泵在超高和极高真空条件下使用,是粒子加速器和干涉仪的首 选。

该离子泵具有三种元件类型。二极离子泵元件适用于通用的 UHV 和 XHV 应用,在此应用中氢气抽速至关重要,系统很少排气或发生空气泄漏。三极离子泵元件可处理大量惰性气体(优于改进型二极离子泵)和氢气(与二极离子泵相当),对甲烷、氩气和氦气具有最 高的抽速和容量。改进型二极离子泵元件适用于需要抽除残留惰性气体的通用 UHV 和 XHV 应用。


特性
  • 配备三极离子泵、二极离子泵和惰性气体二极离子泵抽气单元,以为不同气体提供最 佳抽速

  • 配备 ConFlat 8 英寸非旋转型法兰、额外 8 英寸 ConFlat 孔、双法兰和侧孔,可选不同方向的真空穿导件(Fischer、King、DESY、Varian、Safeconn)

  • 无活动部件,确保在高灵敏度应用中无振动运行

  • 低漏电流可提供稳定的真空压力读数

  • 低磁场可最 大程度减少系统干扰

  • 在 > 400 °C 的条件下进行真空处理,并在真空下夹止,确保安装前的清洁度和真空密封性

  • 可定制不同的高压真空穿导件、泵体几何形状、额外孔和抽气单元布局,还可配备光学挡板、外部加热器和屏蔽磁体,满足您的需求


性能指标
加热器电压
  • 100-120/200-240 V

加热器电源
  • 780 W

单元类型
  • StarCell

  • Noble Diode

  • Diode

工作寿命
  • 80000 小时

抽气口法兰
  • 8 英寸 CFF (NW 150)

最 大启动压力
  • ≤ 5 x 10–2 mbar

最 高烘烤温度
  • 350 °C

极限真空
  • < 1 x 10-11 mbar

真空高压接头类型
  • Fischer

  • SHV

重量(只有泵时)
  • 120 kg

  • 264 lbs


工作原理

二极离子泵元件技术

二极离子泵由一个带正电的阳极环元件和一个带负电的钛 (Ti) 阴极组成,它们浸没在磁场中,使电子在生成的等离子体中撞击周围的气体分子,从而产生正离子。较轻离子 (H2/He) 向阴极加速,穿透 Ti 层,而较重离子撞击阴极,使 Ti 溅射,并覆盖阳极环内表面。H2、N2 和 O2 等可吸收气体将与捕获的 Ti 发生反应。溅射和吸收效应与二极离子泵的抽气效应同步。


三极离子泵元件技术

阴极无法捕获惰性气体(如氩气),因此必须将它们传输到阳极进行泵送。这些原子有两种传输方式:使用较重的阴极材料(钽)或不同的几何形状(三极泵)。三极离子泵由安捷伦(原瓦里安)基于改进的阴极几何结构发明。星形阴极增加了惰性气体作为高能中性粒子传输的概率,而钛阴极可确保为 XHV 范围内的残留气体 H2 提供高抽速。


SEM 阳极设计

由于泵产生的离子流与真空度成正比,在许多应用(如扫描电子显微镜 (SEM))中,离子泵可用作真空计。由于泄漏电流会与离子流叠加,因此需要将其尽可能降低。为了降低泄漏电流,安捷伦申请了一项阳极设计专 利,该设计减少了空体积、尖锐边缘和金属“晶须”。这些预防措施有助于保持极低的泄漏电流,确保更好的压力读数。


VacIon Plus 500 L/s 离子泵可为大型应用提供出色的抽速。该泵在超高和极高真空条件下使用,是粒子加速器和干涉仪的首选。
热线电话 在线咨询

网站导航