深圳市善时仪器有限公司
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扫描电镜/扫描电子显微镜 系列产品

产品说明:


(1)放大倍率15万倍(Magnification Max 150,000x)

(2)采用二次电子和背散射电子双重探测器(Signal Detection: SE Detector+BSE Detector)

(3)1KV~30KV加速电压选择,图像分辨率高(Accelerating Voltage:1kV to 30Kv,High image resolution)

(4)通过选配EDS可进行元素成份分析(EDS is optional, for component analysis)

(5)冷却台的安装可在无前处理情况下对水分取样分析(Installation a coo领 Stage, Can measure aqueous samples without pretreatment)

(6)高/低真空配置缩短前处理过程(High&Low Vacuum System)

(7)CCD摄像头的安装可对载物台内部观察(The CCD camera is mounted to view the inside of the stage)

(8)Tilt(0~45)载物台配置(可选择)(Tilt Stage configuration( optional))


产品特性:


(1台式扫描电镜,体型小巧,占用空间小;(2强大的软件功能,单窗口操作界面让用户操作方便简单;(3软件实现检测图形实时存储;(4扫描电镜产品结构设计简洁,易于维护及保养;(5自动平台采用中心定位模式,迅速定位待测样品;(6高低压真空设计,可调式电压,为不同样品提供更合适的检测环境。


技术参数:


分辨率

5nm (30kV, SE Image)

放大倍率

30x~150,000x 

加速电压

1kV to 30kV (1kV/5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -6 step)

图像检测

二次电子图像-(SE)-Secondary Electron Image

背散射电子图像(BSE)-Backscattered Electron Image

* Multi Detector (SE+BSE)

观察模式

Standard Mode

Charge-up reduction mode

电子枪系统

灯丝类型

预对中钨灯丝

偏压系统

自动偏压方式

电子枪校正

手动方式

透镜构成

聚光镜

2段式磁线圈透镜

物镜

1段式磁线圈透镜

探测器类型

SE Detector/ BSE Detector

载物台系统

 自动或者手动

载物台移动

5轴手动或自动操控

图像偏移

Image shift X, Y Image Shift (±150um)

样品尺寸

高度35mm时直径80mm

图像扫描

快速扫描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)

低速扫描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.)

图片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.)

图片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.)

图片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.)

自动功能

自动启动,自动聚焦,自动亮度对比度调节

图像存储格式

BMP, JPEG, PNG,TIFF

数据显示

放大倍率,探测器类型,电压,真空模式,Logo(Text),Date and time,Text marker,比例尺等

真空系统

 全自动型/高真空模式+低真空模式

(旋转式机械泵)Rotary Pump/100Liters/min

(涡轮式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec

 抽真空时间:2分钟以内

操控系统

 鼠标和键盘

PC:台式电脑(Desk Top)      

OS : Microsoft Windows 7

CPU : Intel CoreTM i5 or High version

Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version

USB 2.0

软件

图像文件打开,编辑,存储功能长度,面积,角度等测量功能,设置数初始化,图像拍摄模式转换,Archives, Setting(EDS)模式等

体积

设备主机-410(W)×660(D)×600(H)mm

  控制主机:410(W)×290(D)×520(H)mm

  外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm 

重量

 105kg

设备环境

 温度:15℃~30℃
 湿度:70% or less

 电源:Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz




电子枪: 钨灯丝放大倍数: 15万倍分辨率: 5nm
SS-150系列台式扫描电镜具有体型小巧,占用空间小;
放大倍率30~150,000X;
5nm分辨率;
采用二次电子和背散电子两种探测器;
通过选配EDS可进行元素成份分析;
SS-150系列扫描电镜具有强大软件功能,操作简单,易于维护;
国产扫描电镜,良好售后服务系统;
使用iEDX150WT应对IPC4556化镍钯金镀层测试应用
使用iEDX150WT应对IPC4554浸锡镀层测试应用方案
使用iEDX150WT应对IPC4553浸银镀层测试应用方案

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