致东光电科技（上海）有限公司
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上海致东全光谱椭圆偏光测厚仪

上海致东全光谱椭圆偏光测厚仪

由椭圆仪校正
量测色度坐标
量测时间1-3s ，精确度高
国内自行研发，价格合理
量测膜厚（N.K)值 .量测穿透率（T%）.反射率（R%）
FFT for very thick layer (up to 50 um)

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