致东光电科技（上海）有限公司
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全光谱椭圆偏振测厚仪SE950


全光谱椭圆偏振测厚仪  

全光谱椭圆偏振测厚仪仪，为R&D和QC提供各种功能材料的光学常数测量及光谱特性数据分析，速度快，精度高 


波长范围: 220~950nm 测量准确度: Tan(psi)≤0.01,cos(delta)≤0.01标准片 at 633nm）重复性: 膜厚重复性<(1 sigma,5 times) 0.2nm基于110nm标准片


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