Horiba 微小液体质量流量计/质量流量控制器
LV-F20,LV-F30,LV-F40
Horiba微小液体质量流量计/质量流量控制器LF-F/LV-F系列
搭载有世界上S次采用了冷却检测方式的流量传感器
通过采用数字回路,实现了高精度・高速响应。
可以进行微升以上的微小流量控制。
可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精密流体控制。
超洁净类型
选型要求:按以下规格确认型号,并请提供参数:介质名称、量程、接口尺寸。
名称 | 质量流量控制器 | ||||
型号 | LV-F20 (PO/MO) | LV-F30 (PO/MO) | LV-F40 (PO/MO) | LV-F50 (PO/MO) | LV-F60 (PO/MO) |
全标度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
检测控制范围 | 5〜100% F.S. | ||||
对象液体种类*1 | 可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 | ||||
液体粘度*2 | 最大值. 0.01 Pa·s (10cp) | ||||
精度*3 | ±1% F.S. | ||||
直线性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
重复性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
响应精度 | 3秒以内(T98) | 2秒以内(T98) | |||
使用环境温度*4 | 5〜50℃(15〜45℃精度的确保) | ||||
温度影响Span | ±0.1%F.S./℃ 最大值±1% | ||||
工作差压值*5 | 0.05〜0.3MPa | ||||
耐压 | 1MPa | ||||
压力损失 | ー | ||||
流量设定信号 | 模拟:0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式:RS485(F-Net通信协议) | ||||
流量输出信号 | 模拟:0〜5 VDC(最小负荷电阻2kΩ)数字式:RS485(F-Net通信协议) | ||||
驱动电源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部泄漏规格 | PO类型:1×10-8Pa•m3/s (He) MO类型:5×10-12Pa•m3/s (He) | ||||
接液部材质 | PO类型:SUS316L,Ni,PTFE,PFA MO类型:SUS316L,Ni | ||||
标准接头 | 1/16”,1/8”卡套; 1/8”VCR | 1/8”SWL类型,1/8”VCR类型 | 1/4”SWL类型1/4”VCR类型 |
名称 | 质量流量计 | ||||
型号 | LF-F20M-A | LF-F30M-A | LF-F40M-A | LF-F50M-A | LF-F60M-A |
全标度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
检测控制范围 | 5〜100% F.S. | ||||
对象液体种类*1 | 可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。 | ||||
液体粘度*2 | 最大值. 0.1 Pa·s (100cp) | ||||
精度*3 | ±1% F.S. | ||||
直线性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
重复性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
响应精度 | 3秒以内(T98) | 2秒以内(T98) | |||
使用环境温度*4 | 5〜50℃(15〜45℃精度的确保) | ||||
温度影響Span | ±0.1%F.S./℃ 最大值±1% | ||||
工作差压值值*5 | 最大值. 5MPa (视为流量计) / 50〜300kPa (with piezo控制阀) | ||||
耐压 | 10MPa (视为流量计) | ||||
压力損失 | 最大值. 500Pa | ||||
流量设定信号 | 模拟:0.25〜5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式:RS485(F-Net通信协议) | ||||
流量输出信号 | 模拟:0〜5 VDC(最小负荷电阻2kΩ)数字式:RS485(F-Net通信协议) | ||||
驱动电源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部泄漏规格 | 5×10-12Pa·m3/s (He) | ||||
接液部材质 | SUS316L, Ni | ||||
标准接头 | 1/16”,1/8”SWL类型,1/8”VCR类型 | 1/8”SWL类型,1/8”VCR类型 | 1/4”SWL类型1/4”VCR类型 |
*1:LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正(请预先指定所使用 的液体。)
・不能检测含有固体物的液体。
・如果混合液中混合比会发生变化时,请预先进行咨询协商。
・LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时,请在一次端(入口端)安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。
*2:LF-F类型质量流量控制器根据流量量程,可以适用到 最大值,0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预先进行咨询协商。
*3: 以SEMI E56-1296为准。
*4: 进行测量・控制的液体温度如果低于环境温度时,使用时请把温差控制在10℃以 内;如果高于液体温度时,使用时请把温差控制在3℃以内。
*5:这是在粘度0.001Pa・s中的F.S.流量值。
上海进申工贸有限公司
仪器网(yiqi.com)--仪器行业网络宣传传媒