扩散炉专用Horibastec质量流量计SEC-E40，小氮-上海进申工贸有限公司

详细信息

扩散炉专用Horibastec质量流量计SEC-E40，小氮

畅销型号: SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.

可选高精度数字式：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J，

Horiba MFC被广泛的应用于半导体、太阳能、实验室、环境监测仪中。尤其在扩散炉中得到了广大客户的支持。适用于从微小流量0.2sccm到大流量500slpm的控制。

另提供扩散炉专用

流量计大氮SEC-E50，N2，20SLPM；

流量计硅烷 SEC-E40，SiH4，5SLPM；

流量计氨气 SEC-E440J，NH3,7SLPM 或 500SCCM；

恒温水槽 Yamato BV100S;

循环泵 CP08-PPRE-10；

程序板 VS4 等。

技术规格

型号	SEC- (质量流量控制器)	SEC-E40、SEC-E40MK3	SEC-E50、SEC-E50MK3
	SEF- (质量流量计)	SEF-E40	E50
适用气体种类*1		非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
气体接触部材质		SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
阀门型号		非通电时　关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.)		10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
流量控制范围 (适于SEC系列)		2〜100% F.S.
流量测量范围 (适于SEF系列)		0〜100% F.S.
响应速度		1秒以内(T98)
流量精度		±1% F.S.
直线性		±0.5% F.S.
反复性		±0.2% F.S.
工作差压值值 (适于SEC系列)		10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d)　10〜30 SLM:100〜300kPa(d)
使用压力 (适于SEF系列)		300kPa(G)以下
耐　压		1MPa(G)以下
外部泄漏率		1×10-8Pa・m3/s(He)以下
使用环境温度		5〜50℃(精度的确保：15〜35℃)
流量设定信号		0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜100% F.S.
流量输出信号		0〜5VDC(最小负荷电阻2kΩ)
驱动电源		+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA
标准接头*2		1/4SWL 类型

*1:关于记载以外的气体种类，请另行咨询协商。
*2也可以适用标准接头以外的接头。请另行咨询协商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭载有自动清零功能。
※入口压力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：最大值300kPa(G)；SEC-70/80：最大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示气体的流量单位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的记号。

本公司同时提供美国AALBORG、美国Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器

核心参数

测量范围: 0-5SLM准确度: 1%介质温度: 常温工作压力: 低于1MPa管径范围: 1/4

产品优势

扩散炉专用Horibastec质量流量计SEC-E40，小氮
畅销型号: SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.
可选高精度数字式：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J，
Horiba MFC被广泛的应用于半导体、太阳能、实验室、环境监测仪中。尤其在扩散炉中得到了广大客户的支持。适用于从微小流量0.2sccm到大流量500slpm的控制。
另提供扩散炉专用
流量计大氮SEC-E50，N2，20SLPM；