8500场发射扫描电子显微镜通过微型化静电聚焦镜的设计,有效避免传统电磁聚焦镜在成像过程中的滞后现象。不同于传统电镜在更换电子源后必需的复杂标定过程,是德科技8500系统通过现场更换ECD Cartridge,用户可得到一个全新的电子源、并配有高精度的电子束发射腔以及全新的检测器,相当于再次拥有了一台全新的8500FE-SEM。
特点和优势
场发射高分辨扫描电子显微镜,结构优化,核心元件达到晶元尺度。在保持高端扫描电子显微镜性能的同时,大大减少对试验条件和配套设备的要求,并极大降低了后续场发射扫描电子显微镜的使用成本和维护成本
创新的静电聚焦镜设计,无需调校,重复性好。
创造性的ECD cartridge (集电子源、电子束发射腔,和检测器于一体)设计,终生无需标定。
在低压条件下,稳定得到高分辨的成像结果,针对能量敏感型或易电子损伤样品,能避免高压电子束对样品造成的熔融现象。
成像电压连续可调,样品台XYZ三轴自由调控。
在保证高性能的同时,大大降低试验安装要求,以及使用成本。不用液氮,电源即插即用。
制样筒单,样品无需喷金喷碳,完整保留样品的真实形貌特征,适用于各种导电/非导电样品。
天津市奥辛博科技有限责任公司
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