Filmetrics F3-XXT 薄膜厚度测量仪-优尼康科技有限公司
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Filmetrics F3-XXT 薄膜厚度测量仪

Filmetrics 薄膜厚度测量仪测厚仪


测量厚度最大到 3 毫米的先进薄膜厚度测量系统
对于大多数的膜厚测试系统来说,当厚度大于 100 微米后都
变得非常困难。那是因为他们是通过反射率振幅干涉的光谱频
率来算薄膜的厚度, 会导致干涉频率超过光谱的分辨率。

为了克服这个问题, F3-XXT 配备 Filmetrics 自主研发的光谱仪, 材
料达到 3 毫米厚度,它可以很好测量。引用特殊的光学配件,
使光斑尺寸不到 25 微米,使得即使是较高粗糙度和不均匀性
的 材 料 都 可 以 测 量 。

几乎所有的半导体和介质材料都可以很好非常迅速的测试,
并且在不到一秒钟的时间就可以将数据输出


Filmetrics 优势
桌面型薄膜厚度测量的全球
24 小时电脑、 Email、在线支持
直观的分析软件


附 加 特 性
嵌入式在线诊断方式
免费离线分析软件
精细的历史数据功能,帮助用户有效的
存储,重现与绘制测试结果


相关应用
硅片厚度

光刻胶厚度(如 SU-8 胶)
集成电路故障分析

玻璃和塑料板材




2Filmetrics F3-XXT 薄膜厚度测量仪产品样册

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