日本电子 JXA-8230电子探针显微分析仪

可以安装通用性强、使用方便的能谱仪X射线探测器，组合使用WDS和EDS，能提供无缝、舒适的分析环境。日本电子新开发出的EPMA （电子探针）秉承近半个世纪的EPMA的发展历史，JXA-8230具备用户友好的操作、通过新式简单易用的PC 用户界面提供完整范围的高精度、快速分析，这是JEOL长年来对高可靠性硬件不断改良的结果。JXA-8230电子探针是下一代能完全满足多种需求的QL分析工具之一。

EPMA快速启动点击任何一点，就能开始预设的EDS定性、定量分析或WDS分析。用户菜单（User recipes）能保存或调用经常使用的各种不同类型的样品分析条件，菜单中包括了全部的电子光学参数、EDS和WDS参数在内。EDS 的性能数字化脉冲处理器全谱面分布(WD/ED, 样品台和电子束扫描)无风扇SDD (选配)

产品规格检测元素范围 WDS：(Be)*1 /B～U, EDS：B～UX射线检测范围 WDS检测的波长范围: 0.087～9.3nm,EDS EDS检测的能量范围: 20keV分光谱仪数量 WDS: 1～5道可选、EDS: 1台最大样品尺寸 100mm × 100mm × 50mm（H）加速电压 0.2～30kV（以0.1 kV为步长）束流电流范围 10-12 ～ 10-5 A束流电流稳定度 5%/h, ±0.3%/12h（W）二次电子分辨率 6nm（W）, 5nm（LaB6）*2（W.D. 11mm, 30kV）扫描倍率 ×40 ～ ×300,000（W. D. 11mm）扫描图像分辨率 最大 5,120× 3,840彩色显示器 EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024SEM操作、 EDS分析用: LCD 1,280 × 1,024*1: 需安装用于Be分析的选配分光晶体。*2: LaB6 为选配。