激光干涉仪测量方法

一.产品简介

激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是高精度、高灵敏度的检测手段，在高端制造领域应用广泛。

SJ6000激光干涉仪产品采用高稳频氦氖激光器、激光双纵模热稳频技术、高精度环境补偿模块、几何参量干涉光路设计、高精度激光干涉信号处理系统、高性能计算机控制系统技术，实现各种参数的高精度测量。通过激光热稳频控制技术，实现快速(5~10分钟)、高精度(0.05ppm)、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出，采用不同的光学镜组与激光配合，得到不同的干涉信号，然后通过高精度激光干涉信号处理系统得到干涉数据，将数据通过计算机进行显示和动态分析。

二.功能特点

1. 测量精度高：以激光干涉技术为核心，分辨率可达纳米级；采用高精度环境补偿模块，解决温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响；使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。

2. 具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等；同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度；并且可满足回转轴分度精度的测量。

3. 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，满足机床误差修正的要求。

4. 具有动态测量（位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线）及测量振幅和频率分析的功能，可进行机床振动测试与分析，滚珠丝杆的动态特性分析，驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性分析等。

5. 内置各种类国标（GB）、ISO（国际）、BS（英制）、美标、DIN（德标）、JIS（日标）等机床检验标准。可依据各种机床标准分析处理数据，并根据测量结果可打印相应的曲线图和数据报告。

6. 可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动对波长进行环境补偿。

7. 测量记录采用集中式数据库管理，可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录；可将检定数据输出到Word、Excel、AutoCAD（选配）文档。

8. 安装方便：基本重量为15kg，简单便携。

三.激光干涉仪线性测量方法

（1）安装设置激光干涉仪
　　（2）将激光束与被测量的轴校准
　　（3）启动测量软件，并输入相关参数（如材料膨胀系数）。
　　（4）在机床上输入测量程序，启动干涉仪测量，并记录数据。
　　（5）用测量软件分析测量数据，生产补偿文件。
　　光束快速准直步骤
　　（1）沿着运动轴将反射镜与干涉镜分开。
　　（2）移动机床工作台，当光束离开光靶外圆时停止移动。
　　垂直光束调整
　　（3）使用激光头后方的指形轮使两道光束回到相同的高度。
　　（4）使用三脚架中心主轴上的高度调整轮使激光头上下旋转，直到两道光束都击中光靶中心。
　　水平光束调整
　　（5）用三脚架左后方的小旋钮，调整激光头的角度偏转，使两道光束彼此重叠。
　　（6）用三脚架左边中间的大旋钮，调整激光头的水平位置，使两道光束击中光靶的中心。
　　（7）沿着运动轴重新开始移动机床工作台。在看到光束移开光靶时再次停止。重复步骤3到6，直到完成整个轴向的光镜准直。
　　（8）达到轴的末端时，将机床移回，使反光镜及线性反射镜互相靠近。注：若其中一道光束离开光闸的光靶，是由于反光镜侧向偏移所造成。上下左右移动反光镜，使从反光镜返回的光束与干涉镜的光束在光闸的光靶上互相重叠。
　　重复步骤1到8，直到两道光束在整个运动轴长度范围内都保持在光靶的中心。
　　（9）保持光束和测量轴准直。将光闸旋转到其测量位置。当反光镜沿着机床的整个运动长度移动时，检查线性数据采集软件中显示的信号强度。