日本Union精密厚度测量显微镜

一个微观厚度测量领域的颠覆性产品。已经广泛应用在半导体晶圆的纳米测量以及电池防爆片领域；设备能够快速定位、智能编程、快速测量；在刻痕一圈取尽量多任意数量的点，进行快速自动化测量。数据更具科学性。编程后可zui多一次放在15个样品进行批量自动化测量，获取更多批量样品的平均值，数据额更具代表性。

EPS防爆片刻痕深度测量仪技术规格书

一、产品介绍：

EPS-2T刻痕测厚仪是一款微观测厚领域的颠覆性产品，采用白光光谱技术精 准定位获得样品表面信息，通过上下同心镜头对被测点的绝 对位置，zui终获得精 准测量数据；设备同时还具备宏观成像导航功能，根据实时图像任意选择被测量，为光谱镜头提供导航及坐标定位。

EPS-2T特点：其是一个微观厚度测量领域的颠覆性产品。已经广泛应用在半导体晶圆的纳米测量以及电池防爆片领域；设备能够快速定位、智能编程、快速测量；在刻痕一圈取尽量多任意数量的点，进行快速自动化测量。数据更具科学性。编程后可zui多一次放在15个样品进行批量自动化测量，获取更多批量样品的平均值，数据额更具代表性。

产品能力：

可实现对样品的多点扫描或线扫描及阵列扫描，一次性数据采集后通过专业光谱影像复合软件计算， 实时对厚度测量判定；

本光谱测头系统, 完全非接触式测量，保护工件免受划痕；

全花岗石结构设计，高精度花岗石底座，立柱，保证机器的长期稳定性；

精密丝杠传动，高速，无间隙，灵敏可靠，定位准确，运动精度高；

海康 高分辨率 CCD，高清晰度的影像效果，保证测量时高品质的画面；

伺服闭环控制,鼠标或摇杆操控，全自动 CNC 功能： 自动对焦， 自动量测， 自动寻边，

自动灯光调整，保证测量高效率。

专 利多重空间灯光照明系统：在面对某些特殊被测量物时，利用不同光线效果，

能更精 准地抓取产品尺寸，达到上光源精 准测量时的高重复精度.

二、技术参数：

三、测试原理：

EPS-2T是一款高性能复合式双激光全自动测厚仪，采用亚纳米级白光光谱对焦原理，对被测样品进行上下面同心高精度对焦，来获取精确的样品厚度。

测试方法：

EPS-2T通过光学图像导航系统进行光学成像、图像导航、坐标定位、软件编程、设定测试点位/数量。白光双镜头通过定位进行快速自动化测量形成厚度数据。

四、仪器结构：

五、仪器测量方法机器结构介绍

结构介绍：设备主体结构平台、Z轴支架均有大理石制成，是实现设备高精度/重复性的保证。设备主题有一组配置上下LED光源及同轴光光源的光学自动变倍镜头、上下同心双光谱镜头组成，XY自动扫描台、Z自动变焦、高清CCD集合而成的一套高精度光学系统。

测试方法：

光学镜头A进行图像识别、设定测试点位、编程被测点的坐标。
白光光谱镜头B/B1双镜头，通过光学镜头导航点位进行全自动测量！

测试方法：

 方法一、导入防爆片产品图纸，确定测试位置坐标，光谱镜头根据坐标定位找点，上下镜头对接，自动测量、通过XY轴自动移动，实现批量测。

 方法二、无图纸测量：对治具上的防爆片进行图像实时成像，选取需要测试的点群，上下镜头对接，自动测量、通过XY轴自动移动，实现批量测。

产品优势说明：

行业痛点：防爆片测量受限于目前传统测量设备的精度、效率、人为干扰等因素影响，无法对单一刻痕深度进行多点测量（一般只选择10-40个点之间）。所以这些很微观的点代表整个样品的刻痕深度并不科学。更无法对多个样品进行快速批量检测。zui终导致:抽样量数量不够科学。单样测试数据不够科学。

EPS-2T特点：其是一个微观厚度测量领域的颠覆性产品。已经广泛应用在半导体晶圆的纳米测量以及电池防爆片领域；设备能够快速定位、智能编程、快速测量；在刻痕一圈取尽量多任意数量的点，进行快速自动化测量。数据更具科学性。编程后可zui多一次放在15个样品进行批量自动化测量，获取更多批量样品的平均值，数据额更具代表性。

六、仪器的维护与保养：

是一种光、电、机一体化的精密测量仪器，需要有经常和良好的维护与保养，以保 持仪器良好的使用状态，这样才可以保持仪器原有的精度和延长仪器的使和寿命。

1、仪器应放在清洁干燥的室内 (室温 20℃±5℃，湿度低于 60%) ，避免光学零件表面污损，金 属零件生锈，尘埃杂物落入运动导轨，影响仪器机能。

2、仪器使用完毕，工作面应随时擦拭干净，zui好再罩上防尘套。

3、仪器的传动机构及运动导轨，应定期加润滑油，使机构运动顺畅，保持良好的使用状态。

4、工作台玻璃及油漆表面脏了，可以用中性清洁剂与清水擦拭干净，绝不能用有机溶剂擦拭油漆 表面，否则，会使油漆表面失去光泽。

5、仪器 LED 光源使用寿命很长，但当有灯泡烧坏时，仍请通知厂商，由专业人员为您更换。

6、光谱镜头在工作过程中均为静态，非人为/外力因素不会损坏。

6、仪器精密部件，如影像系统、工作台、光学尺以及 Z 轴传动机构等均需精密调校，所有调节螺 丝与紧固螺丝均已固定，客户请勿自拆卸，如有问题请通知厂商解决， 自行拆卸造成仪器故障或 精度降低，不在保修范围内。

7、计算机上测量软件，已对工作台与光学尺的误差进行了精确补偿，请勿自行更改，否则，会产 生错误的测量结果。

8、仪器所有电气接插件、一般不要拔下，如已拔掉，则必须按标记正确插回并拧紧螺丝，不正确 的接插，轻则影响仪器功能，重则可能损坏系统。

9、仪器要接地，机座后面电源接口板有标识，且要求仪器使用方，电源插座要有地线

七、仪器成品图：

八、产品验收流程

1仪器交货期：10天

2验收条款：

外观良好、仪器正常运行、按原厂技术标准验收

九、安装调试和培训

安装调试：客户指定地点到货后，三日内安排工程师现场拆箱，按照相应程序验收和安装调试产品。设备安装调试后三日内，根据确定的人数在客户所在单位对所供产品设备提供详细的培训课程，内容包括相应试验标准、设备原理、设备要点、设备操作和设备日常维护。

十、质量保证和售后服务

质量保证：提供的是原厂生产的产品，符合国家、行业的质量检测标准，具有正规的质量保证书或者合格证。

免费质保期：我司对售后产品提供一年保质期（易损坏件和消耗性用品除外，自安装验收合格之日起一年内），在保质期内如非人为因素损坏，我司将提供免费维修或免费更换配件。 

响应：我方在接到用户故障通知后8小时内响应，在用户不能自行维修的情况下，48小时内我方维修工程师到用户现场维修。

保修期满之后，卖方对设备的维修仅收取工时和交通费用，涉及设备相关配件的更换和购买，卖 方仅收取成本费用。

维修站点：FLIR厂家上海办事处负责保修和维修服务。