FT-330系列普通四探针方阻电阻率测试仪
一. 描述:
采用范德堡测量原理能解决样品因几何尺寸、边界效应、探针不等距和机械游移等外部因素对测量结果的影响及误差,提供通讯接口,PC软件数据处理及数据分析.中文或英文语言版本.
FT-330系列普通四探针方阻电阻率测试仪
二.参照标准:
硅片电阻率测量的标准(ASTM F84)及国家标准设计制造;GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.
FT-330系列普通四探针方阻电阻率测试仪
三.适用范围:
适用于生产企业、高等院校、科研部门,是检验和分析半导体材料质量的工具;液晶显示,自动测量和系数补偿,并带有温度补偿功能,自动转换量程;采用AD芯片控制,恒流输出,选配:PC软件,保存和打印数据,生成报表
规格型 | FT-331 | FT-332 | FT-333 |
1.方块电阻 | 10-5~2×105Ω/□ | 10-4~2×105Ω/□ | 10-3~2×105Ω/□ |
2.电阻率范围 | 10-6~2×106Ω-cm | 10-5~2×106Ω-cm | 10-4~2×106Ω-cm |
测试电流范围
| 0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA | 10μA,100µA,1mA,10mA,100mA | 0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA |
4.电流精度 | ±0.1% | ±0.2% | ±0.2% |
5.电阻精度 | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤0.3% |
6.显示读数 | 液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率 | ||
7.测试方式 | 普通单电测量 | ||
8.工作电源 | 输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W | ||
9.误差 | ≤4%(标准样片结果) | ||
10.选购功能 | 选购1.pc软件; 选购2.方形探头; 选购3.直线形探头; 选购4.测试平台;5.标准电阻 | ||
11.测试探头 | 探针间距选购:1mm;2mm;3mm三种规格; 探针材质选购:碳化钨针;白钢针;镀金磷铜半球形针 |
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