宁波瑞柯微智能科技有限公司
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FT-330系列普通四探针方阻电阻率测试仪

FT-330系列普通四探针方阻电阻率测试仪

 一. 描述:

采用范德堡测量原理能解决样品因几何尺寸、边界效应、探针不等距和机械游移等外部因素对测量结果的影响及误差,提供通讯接口,PC软件数据处理及数据分析.中文或英文语言版本.

 FT-330系列普通四探针方阻电阻率测试仪

二.参照标准:

硅片电阻率测量的标准(ASTM F84)及国家标准设计制造;GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.

 FT-330系列普通四探针方阻电阻率测试仪
三.适用范围:

适用于生产企业、高等院校、科研部门,是检验和分析半导体材料质量的工具;液晶显示,自动测量和系数补偿,并带有温度补偿功能,自动转换量程;采用AD芯片控制,恒流输出,选配:PC软件,保存和打印数据,生成报表

规格型

FT-331

FT-332

FT-333

1.方块电阻

10-5~2×105Ω/□

10-4~2×105Ω/□

10-3~2×105Ω/□

2.电阻率范围

10-6~2×106Ω-cm

10-5~2×106Ω-cm

10-4~2×106Ω-cm

测试电流范围

 

0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA

10μA,100µA,1mA,10mA,100mA

0.1μA ,1μA,10μA,100µA,1mA,10mA,100mA

4.电流精度

±0.1%

±0.2%

±0.2%

5.电阻精度

≤0.3%

≤0.3%

≤0.3%

6.显示读数

液晶显示:电阻、电阻率、方阻、温度、单位换算、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率

7.测试方式

普通单电测量

8.工作电源

输入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<30W

9.误差

≤4%(标准样片结果)

10.选购功能

选购1.pc软件; 选购2.方形探头; 选购3.直线形探头; 选购4.测试平台;5.标准电阻

11.测试探头

探针间距选购:1mm;2mm;3mm三种规格; 探针材质选购:碳化钨针;白钢针;镀金磷铜半球形针

 

四探针电阻测试仪主图.jpg


四探针测试仪3.jpg

1.标准电阻校准仪器
2.PC软件运行
3.同时显示电阻、电阻率、电导率数据.
4.可显示5位有效数字.
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