四探针测试仪安全操作规程

      四探针测试仪是根据单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国ASTM标准而设计的,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。

       四探针测试仪操作规程:

      1.接上电源,开启主机,此时"Rn"和"I”指示灯亮。预热约5分钟。

      2.检查工作条件:工作温度23+2°C ,相对湿度为65% ,满足以.上条件方可进行下面操作。

      3.根据硅片的直径厚度以及探针的修正系数,计算出所测硅片和标准样片的电流值。

      4.取下测头保护罩,用酒精棉球擦拭测头及工作平台。

      5.根据每个合同所要求电阻率值的范围,按说明书选择电流量程。

      6.用标准样片对测试仪进行校正,在硅片中心处至少检测3点,其.平均值和标准样片电阻值进行比较,差值在1.5%之内,即可进行检测。

      7.将已喷砂好的硅棒或者表面洁净的硅片放入探针架测试台面中心位置进行测试。

      8.探针压在硅棒/片端面.上的中心点,十点法要求对.上、下端面测量，测量值稳定此时读取显示屏显示的电阻率值,并记录测量值。如果有轴向测试要求,则将硅棒轴向端面进行打磨后测试轴向电阻率。

      9.若测量过程中,显示屏出现测量值波动不稳定,*出偏差范围停止工作,检查室温、硅棒测量面、及显示器是否出现异常。

      10.整批测量完成,探针加上护罩,升降架下降到测量台面.上方5cm-8cm处。关闭电源开关。

      四探针测试仪采用了* 新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。