四探针测试仪的分类说明

       四探针测试仪是利用直线四探针技术进行材料电阻率测量的专业仪器。四探针测试技术有常规的直线四探针技术和矩形四探针技术。

       在半导体等新型应用材料行业中，四探针测试仪是不陌生的，几乎是必备检测手段，比如硅片晶圆，二代，三代芯片应用的半导体材料；半导体材料是个统称，还有其他类型的根据不同的应用场景不同而备制方式也不同，比如：涂层类，薄膜类及导体与绝缘材料的添加备制等新材料都属于半导体性质，这些材料质量的检测都离不开四探针方法的四探针测试仪来测量。

       一.四探针测试仪四探针测量方法分类

       一般来说所有的四探针测试仪方法都不一定相同，不同方法对测量准确性及精度影响比较大的，常见的有单一计算方法和组合计算测量方法；组合方法更加优在准确性和重复性.特别是应用于高要求的晶圆类产品的测量时突出表现。

       二.四探针测试仪自动化程度来分类

       大体分类为，全自动类型和半自动类型；全自动类型成本高，精度和稳定性要求也高，如全自动四探针测试仪一般采用MAP地图图谱方式来描述整体样品均匀性及方阻和电阻率数据，也就是应用2D和3D 图.

而半自动类设备，里面也分类为简易的数据显示结果，和半人工配合操控的类型数据量更加丰富些.

       三.按照便捷性划分为手持式和台式机型，比如需随身携带的手持四探针测试仪就是便捷用途；

       四.在依据不同的测试条件下也可以做划分：比如常温下使用的，及高温四探针测试等