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四探针测试仪的功能特点有哪些?

2023-03-28911

       四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备,该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。

       四探针测试仪的功能特点有哪些?

       1.多功能真空加热炉,一体炉膛设计、可实现、高温、真空、气氛环境下进行测试;

       2.采用铂材料作为导线、以减少信号衰减、提高测试精度;

       3.可以测量半导体薄膜材、薄片材料的方块电阻、电阻率;

       4.可实现常温、变温、恒温条件的1-V、R-T、R-t等测量功能;

       5.温度传感器、PID自动温度控制,使测量温度精zhun;

       6.四探针测试仪可自动计算试样的电阻率pV;

       7.10寸触摸屏设计,一体化设计机械结构,稳定、可靠;

       8.程控电子升压技术,纹波低、TVS防护系统,保证仪器性;

       9.99氧化铝陶瓷绝缘、碳化钨探针;

       10.huace pro控制分析软件;

       11.整体为桌面型设计,采用红外灯加热,无保温炉膛结构,满足实验室无灰尘排放的要求;

       12.内置工控机、触摸屏,可以利用工控机设定加热曲线,并实现和其他测试设备的集成控制;

       13.定点控温模式下,可以将样品10s内加热到1000摄氏度;控温加热下,可以5度/s速率下线性加热到1000摄氏度;

       14.在1000度下可以连续工作时间不低于1小时;

       15.采用铂热电偶直接测定样品附近温度;

       16.样品可以工作在大气、真空、气氛环境下加热;

       17.配备真空泵,水冷设备,配备*温、缺水、过流等报警保护装置;

       18.温度均匀区:60mm*100mm。


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