Park原子力显微镜公司
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Park XE15 原子力显微镜

Park XE15具备多个特殊功能,是共享实验室处理各类样品、研究员进行多变量实验、失效分析师研究晶片等的不二选择。合理的价格搭配强健的性能设置,使其成为业内性价比zui高的大型样品原子力显微镜。

 

MultiSample™多重采样TM扫描器带来最便捷样品测量

- 多样品一次性自动成像

- 特殊设计的多样品夹头,最多可承载16个独立样品

- 全自动XY样品载台,行程范围达200 mm x 200 mm。

 

无轴间耦合提高扫描精度

- 两种独立闭环XY和Z平板式扫描

- 平板式和线性XY扫描可达100μm x 100μm,且残余压弯小

- 整个扫描范围内的异面移动小于2nm

- qiang力扫描器达25μm Z扫描范围

- 精确的高度测量

 

Non-Contact™(真正非接触TM)模式延长针尖使用寿命、改善样品保存及精度

- 其Z扫描频宽是压电管基础系统的10倍

- 非接触式可降低针尖磨损、延长使用寿命

- 成像分辨率高于同类原子力显微镜

- 降低样品干扰,提高扫描精度

 

 提供zui佳用户体验

- 开放式侧面接入,提高样品及针尖更换效率

- 预对准的针尖安装和du一wu二的轴上俯视法可简单直观地实现激光对准

- 燕尾锁封片方便镜头拆卸

- 界面带自动设置功能,方便用户使用

 

多种模式与选项

- 综合性测量模式及特性设置,是我司zui佳通用型原子力显微镜

- 多种可选配件及更新,扩展性能优越

-? 为缺陷分析提供先进电气测量

 

 

* 产品特点

 

100um x 100 um扫描范围的XY柔‘导向扫描器

XY扫描器含系统二维弯曲及qiang力压电堆叠,可使极小平面外移动形成较大的正交运动,并能快速响应,实现精确的样品纳米级扫描。

 

柔性导向qiang力Z扫描器

在qiang力压电堆叠的驱动及弯曲结构的引导下,其硬度允许扫描器高速竖直运动,较传统原子力显微镜扫描器更加高速。zui大Z型扫描范围搭配远程Z扫描器(选配)可延长12μm至25μm。

 

滑动连接的超亮二极管头

 通过将原子力显微镜头沿楔形轨道滑动,可轻松将其插入或取出。低相干的超发光二极管头可实现高反射表面的精确成像和力-矩光谱的精确测量。超亮二极管头的波长帮助减轻干扰问题,因此用户在可见光谱实验中也可使用本产品。

 

多样品夹头

特殊设计的多样品夹头,做多可承载16个独立样品,由多重采样扫描器自动按顺序扫描。特殊的夹头设计为接触样品针尖预留了边通道。

 

选配编码器的XY自动样品载台

自动集成XY载台可轻松并精确控制样品的测量位置。XY样品载台的行程范围可配置为150 mm x 150 mm或200 mm x 200 mm。若搭配自动载台使用编码器,可提高样品定位的精确度和重复性。编码XY载台工作时分辨率为1 μm,重复率为2 μm。编码Z载台的分辨率为0.1 μm,重复率为1 μm。

 

高分辨率数码变焦感光元件摄像头

高分辨率数码感光元件摄像头利用直接同轴光学,具备变焦功能,无论是否摇摄均可确保图像具有清晰的成像质量。

 

垂直对齐的自动Z载台及聚焦载台

Z载台和聚焦载台可将悬臂啮合到样品表面上,同时确保用户视野清晰稳定。聚焦载台是由软件控制自动运行的,因此满足透明样品及液态元件应用所需精度。

 

弯曲基底解耦XYZ扫描器

Z扫描器与XY扫描器完全解耦。XY扫描器在水平面上移动样品,同时Z扫描器竖直移动探针。

此配置以最小异面移动,实现了平板式XY扫描。此XY扫描同时还具有高正交性与线性

 

业内zui低本底噪声

为探测最小样品的特性,帮助最快运动平面成像,Park Systems设计了业内0.5?以下的zui低本底噪声标准设备。使用“零扫描”探测本地噪声数据。

 

真正非接触模式延长针尖使用寿命

 XE系列原子力显微镜已成功搭配ZGqiang力Z扫描系统独有的真正非接触模式。真正非接触模式下,使用的是相吸而非相排斥的内部原子力。 

真正非接触模式因此成功地保持了针尖样品纳米级间距,改善了原子力显微镜图像,保持针尖的锐利,因此有效延长了针尖使用寿命

 

预对准悬臂支撑

预先安装在探针支撑上,因此不需要严格对齐激光束。

 

高分辨率的直接同轴光学元件

用户可直接俯视观看样品,操控样品表面,从而很容易就能找到目标区域。高分辨率数码摄像头具备变焦功能,无论是否摇摄均可确保图像具有清晰的成像质量。

 

DSP控制芯片的XE控制电子元件

原子力显微镜发出的纳米级信号将由高性能Park XE电子元件控制并处理。Park XE电子元件为低噪声设计,配备高速处理单元,可成功实现真正非接触™模式,是纳米级成像及电压电流jing准测量的理想选择。 

 

- 600 MHz、4800 MIPS速度的高性能处理单元

- 低噪声设计,适合电压电流jing准测量

-通用系统,各SPM技术均可得到应用

- 外部信号接入模块,存取原子力显微镜输入/输出信号

- zui多16个数据成像

- zui大数据尺寸:4096 x 4096像素

- 16位ADC/DAC,速度达500 kHz

- TCP/IP连接,隔离计算机接出电噪

 

技术参数:

扫描器:       XY扫描器                                                                    Z扫描器

                     闭环控制的单模块挠性XY扫描器                                 导向qiang力Z扫描器

                     扫描范围:100 μm * 100 μm                                     扫描范围:12 μm

                                                                                                        25 μm(选配)

样品台:          XY台工作范围:150 mm * 150 mm

                        Z台工作范围:27.5 mm

                        聚焦台工作范围:20 mm

影像:            1                                                                               样品基底

                       样品表面和悬臂的直观同轴影像                                 样品zui大尺寸:150 mm

                       10倍物镜(选配20倍)                                             样品zui大厚度:20 mm

                       视野: 480 μm  *360 μm (10倍物镜)

                       摄像头:1M Pixel, 5M Pixel (选配)

软件:            XEP                                                                             XEI

                      系统控制和数据采集的专用软件                                  AFM数据分析软件

                      实时调整反馈参数

                      通过外部程序(选项)进行脚本级控制

 

售后服务:

为了给客户提供gao效便捷的售后服务, Park公司在ZG区建立有售后服务zhong心并配有备件仓库。


仪器分类: AFM
Park XE15具备多个特殊功能,是共享实验室处理各类样品、研究员进行多变量实验、失效分析师研究晶片等的不二选择。合理的价格搭配强健的性能设置,使其成为业内性价比zui高的大型样品原子力显微镜。
0Park XE15 集多功能于一体的原子力显微镜
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