弘度科学仪器(上海)有限公司
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德国PhysTech FT1030深能级瞬态谱仪器DLTS

HERA-DLTS

高能分辨率深能级瞬态谱(DLTS)

PhysTech在1990年推出了第一台数字DLTS,随着电脑技术的发展,使得在短时间内进行复杂计算成为可能。在纯指数发射过程模型的基础上,用各种数学模型分析测量到的瞬态过程,如傅里叶转换、拉普拉斯转换、多指数瞬态拟合、ITS(等温瞬态光谱)信号重叠法、温度扫描信号重叠法(重折叠)。与其他系统相比,HERA-DLTS具有无法比拟的能量分辨率。

半导体的掺杂浓度、缺陷能级位、界面态(俘获界面)是研究半导体性质的重要手段。此设备根据半导体P-N 结、金-半接触结构肖特基结的瞬态电容(△C~t)技术和深能级瞬态谱(DLTS)的发射率窗技术测量出的深能级瞬态谱,是一种具有很高检测灵敏度的实验方法,能检测半导体中微量杂质、缺陷的深能级及界面态。通过对样品的温度扫描,可以给出表征半导体禁带范围内的杂质、缺陷深能级及界面态随温度(即能量)分布的DLTS 谱。

特点:

操作模式:


规格:



分辨率:

1*108 atoms/cm3

脉冲发生器

电压范围:±20.4V(±102opt.)
电压分辨率:0.625mV
最大电流:>±15mA
脉冲宽度:1μs-1000s
快速脉冲选配


电容表
HF信号:100Mv@1MHz(20mV optional)
范围[pF]:3,30,300,3000(自动或手动)
电容补偿:0.1-3000 pF(自动或手动)
灵敏度:0.01 fF


电压测量
范围:±10V
灵敏度:<1μV
输入电阻:106Ohm
可提供偏压补偿:

电流测试

范围:

5,从±1μA 到±10mA

灵敏度:

<1pA
可提供漏电保护

瞬态记录

样品速率:

2μs到2000s

样品数量:

16-16384(opt.64k)

可调节抗失真滤膜



标准冷却仓
温度范围:15K-450K或77K~800K
温度扫描方式:使用28个不同的相关功能(软件)通过一次温度扫描,给出28个温度扫描信号。

典型性能(Schottky Diode,Reverse Bias Capacitance 100pF@OV)
灵敏度:10-7T/(ND-NA)<10-5
能量精度:HT+/-3%
能量分辨率:10meV
发射率:10-3/s4/s


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