关于白光干涉三维轮廓仪用于校正贵金属中光和材料相互作用的新方法

2014年7月，WinWinTec位于德国的光学三维表面形貌测量仪器供应商GBS公司，完成了一个与伊尔梅瑙工业大学数字图像处理ZX合作的研究项目用于校正光和物质的相互作用的新型白光干涉测量方法。

根据这一学术文章，在白光干涉测量过程中，高度测量误差是源于被测物体表面材料的光学性能，而根据对于这些性能的认知这一高度测量误差可以得到修正。这需要结合实测数据（间隔）的评价方法和物理性质的恰当计算。相反采用先前知识的测量方发需要知道材料的边界。而相应的算法，GBS已经在SmartWLI设备中增加了这一可选软件组件。

Pic 1st.The left section shows the dispersion of the wave packets at the WLI objective. In general two different wave packets interfere, yielding a correlogram deviating from an ideal form. The right section illustrates the primary characteristics of these deviations. The ideal correlogram is shown in yellow.

Pic 2nd.Calculated correlograms for three materials assuming that no height difference exists between the corresponding object points

Pic 3rd.Values of correlogram characteristics for copper and gold using illumination from a halogen lamp and various filters.

: phase error;
h: shifting of the envelope;
f: frequency deviation;
hTM: height measurement error during "template matching"

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