在线式HIT用PECVD
In-Line PECVD system for HIT junctions
用于制备GX异质结太阳电池的直线型等离子体化学气相沉积系统
Throughput: 18 wafers (6”)/cycle
产率：18片6硅片/循环
上海瞬渺光电技术有限公司
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