椭圆偏光膜厚测试仪（自动）

产品特点：

?椭圆偏振术测量紫外光到可见光波长椭圆参数。

?0.1nm以上奈米级光学薄膜厚度测量。

?400波长以上多通道分光的椭偏仪，高速测量椭圆偏光光谱。

?可自由变换反射测量角度，得到更详细的薄膜解析数据。

?非线性最小平方法解析多层膜、光学常数。

产品规格：

应用范围：

■半导体晶圆
?电晶体闸极(Gate)氧化薄膜、氮化膜，电极材料等
?SiO2、SixOy、SiN、SiON、SiNx、Al2O2、SiNxOy、poly-Si、ZnSe、BPSG、TiN
?光阻剂光学常数(波长色散)
■化合物半导体
?AlxGa(1-x)As多层膜、非结晶矽
■平面显示器
?配向膜
?电浆显示器用ITO、MgO等
■新材料
?类钻碳薄膜(DLC膜)、超传导性薄膜、磁头薄膜
■光学薄膜
?TiO2、SiO2、多层膜、抗反射膜、反射膜
■平版印刷领域
?g线(436nm)、h线(405nm)、i线(365nm)、KrF(248nm)等于各波长的n、k值评价

应用范例：

非线性最小平方法比对NIST标准样品(SiO2)膜厚精度确认