材料3D实时动态显微镜

DigitalHolographicMicroscopy(DHM)generates,inreal-time,highresolution3Ddigitalimagesofasampleusingtheprincipleofholography.DHMR1000seriesCost-effectivesub-nanometerresolutioninreal-time.

仪器简介

瑞士Lynceetec公司的材料3D实时动态显微镜DHMR1000“DHM（DigitalHolographicMicroscopy）主要应用是在MEMS研发中用于测量工作，以及在生产线用于缺陷检测。与上述用途中现在经常使用的共焦显微镜相比，在同行分辨率下能够更高速地进行测量。垂直方向的分辨率为0.6nm，水平方向为200nm～300nm（取决于物镜）。使用1.25倍率的物镜时视野为4mm×4mm，可以15帧/秒的速度进行测量。因此，25px见方的试样几分钟即可完成观察。使用现有共焦显微镜时，同等范围的观察则需要几个小时～10小时。此外产品最大可将观察速度扩展至1万帧/秒。由于摄影速度快，因此不需减震台，可用来检测流水线上的产品。

照射到试料上的光线与参照光产生的干涉图案使用CCD相机，作为数字数据保存下来，由此算出三维数据。计算三维数据时使用的是专用软件“KoalaSoftware”。

主要特点:

非接触式3D成像

可进行相位测量

自动相干补偿

高分辨、实时测量

技术规格

系统

测量技术：单波长透射式数字全息显微镜

成像类型：强度及定量相差(DHM模式)

光源：单波长激光

样品台：手动或自动XYZ平台,行程200mm××100mm×15mm

相机：1392×1040像素,8bits

有效物镜：标准显微物镜,长工作距离物镜,油镜或水镜

性能

纵向分辨率：10nm

垂直测量范围：可达340nm(取决于样品)

横向分辨率：300nm(1.4NA)

视场范围：4.4mm

工作距离：0.3~18mm

数字聚焦范围：达到50倍场深

抓图时间：小于1us

空间采样：1024×1024像素

采样速率：15fps(1024×1024像素)

单波长重建速率：15fps(512×512像素),4fs(1024×1024像素)

样品照明：小于1uW/cm2

最大样品尺寸：200mm×200mm

电源要求

输入电压：85-260VAC,50/60Hz

功率：480W

重量&尺寸

显微镜部分：500×500×500mm&34.5kg