InVue® GV148 液体浓度监测器

InVue® GV148 液体浓度监测器

集成一体的实时过程监控系统

InVue®GV148液体浓度监控器可以实时提供测量过程流体的浓度，用于化学混合、提升浓度和稀释，无需中断过程检测。

InVue®GV148液体浓度监控器集成在一个小型密封外壳中，可提供性价比高的浓度监测，使前端（FEOL）、后端（BEOL）和工厂生产系统的工艺效率提高。这种工艺可以使过程控制更为严格， 从而提高工艺效率，减少成本投入，也减少废料的产生。

用户软件强大

采用基于Windows®的HMI软件应用程序来支持 GV148配置和实时监控。该软件允许用户:

·获得实时折射率、流体温度和浓度信息

·自定义折射率以及浓度切换

·获取和分析化学品特定温度补偿的数据

·传感器平衡操作

·查看当前警告信息、系统事件和警告历史信息

·折射率归零 ·配置模拟输出

经过验证的折射率检测技术

GV148监测仪采用经过验证的折射率检测技术，外观小巧，可提供准确、安全和可重复的液体浓度测量方法。在线传感器可精确测量过程流体的折射率（IoR）和温度。然后，我们将利用这些信息 来计算工艺中液体的浓度。

工作原理

使用折射率技术，当光从平面玻璃或液体表面反 射到光电二极管检测器（PDA）时，InVue®GV148 浓度监测器开始工作。反射角是由液体与窗口之 间的折射率比决定的。定制的算法可以检测反射 光强度的微小变化。这种可以反射几何形状的能 力和小型化设计是InVue®GV148的重大特点。

应用领域

·H₂O₂ 溶液混合

·研磨液稀释

·专有添加剂混合

·本地循环监控

·批量溶液混合监控

·容器寿命检测

·CMP后清洁溶液混合

功能与优势

*配备适当的阀门和控制器

功能与优势

*亲水性的组件

**对于折射率超出此范围的流体，请联系奥法美嘉

配置

订购须知

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InVue GV148液体浓度监测器：配件号