薄膜生长原位监测掠入射小角散射(GISAXS)系统

2015-12-01967

行业应用：

食品/饮料/烟草肉制品

文件大小：768.16KB

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方案优势

首套实验室级实时监测薄膜生长的掠入射小角散射(GISAXS)系统曝光时间仅为8s，入射角调到与临界角接近，可以达到实时沉积的亚单层灵敏度 Incoatec Microfocus Source IµS---Incoatec微焦点光源IS