AVI系列超高性能双堆叠主动隔振系统

                                        AVI系列超高性能双堆叠主动隔振系统

概述：与被动隔振系统相比，主动隔振系统具有两个主要优点：低频隔振和刚度增强。为了实现增强的低频振动隔离，主动隔振系统通过其闭合回路设计消除了低频共振。当力输入的频率与系统的固有频率相匹配时，就会发生共振，从而导致在这些频率下发生高振幅振荡。高层建筑以及在地铁，水路附近或复垦土地上建造的建筑物通常会产生低于10 Hz的共振，如果安装在被动系统上，则可能发生危险的振荡。通常，在评估振动时，较低频率下的振荡幅度往往会高于高频下观察到的幅度。主动隔振系统的刚度大约是被动式气动隔振系统的100倍。主动隔振系统的刚度特性为仪器或应用提供了更大的方向和位置稳定性。

HERZ AVI系列可为电子显微镜，激光系统和半导体设备等精密仪器提供业界领先的低频隔振性能，具有自动负载调整，低频补偿，信号监控和振动器等功能，其低调的模块化设计可简化安装，适用于：

1. 扫描电子显微镜(SEM & FIB)

2. 透射电子显微镜(TEM)

3. 粗糙度测量系统

4. 纳米工程&纳米光刻

5. 激光扫描显微镜

6.  扫描探针显微镜(AFM,STM)

7. 扫描近场光学显微镜(SNOM)

8. 微米和纳米硬度计

9. 冷台&低温制冷系统

此外，AVI系列可进行双层堆叠组成超高性能的主动隔振系统，振动衰减可高达75dB。搭配LFS系统后，标准或双堆叠主动隔振系统性能得到进一步改善，可显著提高AVI系列平台的低频隔振性能。更多详情，欢迎来电咨询020-85666701！

传递率曲线如下图所示：

蓝线（被动系统）：AVI-200禁用主动隔离

黄线（主动系统）：AVI-200启用主动隔离

红线（主动系统堆叠）：AVI-200放置在现有AVI-200及顶板上； 均启用主动隔离