产品简介
SUEX/SUEX Plus/ADEX干膜光刻胶
- 总处理时间:小于5分钟
- 卓越的厚度均匀性, 边缘无光刻胶堆积
- 高热稳定性-高韧性
- 无锑化学环境,无材料浪费
选择干膜的优势
- 无需昂贵的匀胶和烘胶设备
- 对Fab环境要求较低
- 整片晶圆上厚度均匀
- 无需去边工艺
- 100%平坦化(真空压膜)
- 胶膜内部成份分布均匀
- 适合UV和X射线曝光
- 高透过率
- 生产过程中减少了溶剂使用
- 绿色环保
香港电子器材有限公司
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