香港电子器材有限公司
香港电子器材有限公司

OAI - 光刻机

产品介绍：

OAI Series 6000 生产型曝光机

全面的曝光系统

  • 0.5μ 精确正面对准

  • 1μ 正反面对准

  • 高产量：170 WPH in 1st Mask Mode

  • 均匀性优于 ±3%

  • 适用于各种规格的芯片

  • 自动平衡补偿

  • 适用于超 强工艺的重复性要求

  • 亚微米分辨率

 

 


全面的曝光系统
0.5μ 精确正面对准
1μ 正反面对准
高产量：170 WPH in 1st Mask Mode
均匀性优于 ±3%
适用于各种规格的芯片
自动平衡补偿
适用于超强工艺的重复性要求
亚微米分辨率
热线电话 在线咨询

香港电子器材有限公司

仪器网(yiqi.com)--仪器行业网络宣传传媒

网站导航